พระครูวินัยธรมั่น ภูริทตฺโต ได้ออกจาริกธุดงค์มาทางภาคเหนือและได้พำนัก ณ ป่าช้าร้างติดกับสวนเจ้าสบาย พระตำหนักดาราภิรมย์ของเจ้าดารารัศมี พระราชชายาในรัชกาลที่ 5 ซึ่งเป็นสถานที่สงบ เป็นสปายะในการบำเพ็ญกรรมฐาน และมีพระสงฆ์ได้เข้ามาบำเพ็ญกรรมฐาน ณ ที่แห่งนี้ เมื่อชาวบ้านในละแวกเห็นแล้วได้เกิดศรัทธาจึงได้ร่วมกันสร้างเสนาสนะต่าง ๆ ถวายเพื่อให้คณะสงฆ์ได้ใช้ในกิจการสงฆ์ ต่อมาในปี พ.ศ. 2484 เจ้าลดาคำ ณ เชียงใหม่ ทายาทของเจ้าดารารัศมี พระราชชายา ได้ถวายที่ดินดังกล่าวซึ่งอยู่ในเขตพระราชฐานพระตำหนักเจ้าดารารัศมีให้แก่วัด
วัดป่าดาราภิรมย์ ได้ประกาศตั้งเป็นวัดวันที่ 21 ธันวาคม พ.ศ. 2481 และได้รับพระราชทานวิสุงคามสีมา เมื่อวันที่ 24 มิถุนายน พ.ศ. 2522 ประกอบพิธีผูกพัทธสีมา เมื่อวันที่ 9 กุมภาพันธ์ พ.ศ. 2523
ปัจจุบัน พระเทพวชิราธิบดี (ฤทธิรงค์ ญาณวโร) เจ้าคณะจังหวัดเชียงใหม่ ลำพูน แม่ฮ่องสอน (ธ.) ดำรงตำแหน่งเจ้าอาวาส
พระอุโบสถ ประดิษฐานพระประธานเป็นพระพุทธรูปปางสมาธิ ศิลปสุโขทัย พระนามว่า “พระสยัมภูโลกนาถ”
พระธาตุเจดีย์พระพุทธบาทสี่รอย ประดิษฐานรอยพระพุทธบาทสี่รอยจำลอง ศิลปสุโขทัยประยุกต์ พระนามว่า “พระพุทธการุญกิตติคุณขจร”
มณฑปพระเจ้าทันใจ มณฑปเป็นศิลปล้านนาแบบเชียงตุง ประดิษฐานพระพุทธรูปศิลปเชียงแสนสิงห์
หอกิตติคุณ จัดสร้างในการฉลองชนมายุ 80 ปี พระพุทธพจนวราภรณ์ (จันทร์ กุสโล) ขณะดำรงสมณศักดิ์ที่พระธรรมดิลก ภายในได้รวบรวมเกียรติประวัติ ของพระเดชพระคุณเจ้า
พระวิหารหลวง
หอพระแก้ว
หอพระกรรมฐาน